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無塵室內的浮游微粒子濃度，使用高性能的過濾器即可容易達到零水平，實際的生產現場由于作業(yè)者,、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等,，在制造品周邊揚起了少許的微粒子,，因而造成了元件清潔面的粒子污染。
　　無塵室內該如何防止微粒子污染呢,？應遵守下列四項基本原則：
　　一,、不攜入
　　在無塵室內不攜入微粒子的方法有：
　　1）作業(yè)員進入無塵室前，機臺,、零件攜入前應進行清潔處理,；
　　2）進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服,、帽,、鞋、手套,、口罩等,。
　　3）通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進入無塵室,。
　　4）機器及材料帶進無塵室前,，應盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經風淋室吹淋后才進入無塵室,。
　　5）無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間,。
　　二、不發(fā)生
　　在控制最大污染源--人在無塵室內的微粒子發(fā)塵量的同時,，也應控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量,。因物品在移動時，所產生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵,，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生,。故為了控制發(fā)塵量達到最小限度應采取以下對策：
　　1）減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài)；
　　2）采用磨耗發(fā)塵小的材質,；
　　3）采用發(fā)塵小的潤滑油,；
　　4）機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。
　　三,、不儲備
　　若能徹底實施“不攜入”技術,，無塵室內的潔凈度就可以維持,。但現實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動，在廣大的無塵室內要有完全潔凈度是不可能的,。因此“不儲備”技術快速地在過濾器中應用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要,。通常已發(fā)生的微粒子會依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起,，增加了重大微粒子污染的危險性,。
　　在最高等級的無塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動,。這是在約10秒內將室內空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數值,。同時，空氣的流向也必須要有精確的控制才行,。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻,，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域,，使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內,，而一部分會附著在周邊機器設備的表面而引起污染。
　　控制氣流可防止微粒子累積,，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止,。
　　無塵室內的浮游微粒子濃度，使用高性能的過濾器即可容易達到零水平,，實際的生產現場由于作業(yè)者,、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等,，在制造品周邊揚起了少許的微粒子,，因而造成了元件清潔面的粒子污染。
　　無塵室內該如何防止微粒子污染呢,？應遵守下列四項基本原則：
　　一,、不攜入
　　在無塵室內不攜入微粒子的方法有：
　　1）作業(yè)員進入無塵室前，機臺,、零件攜入前應進行清潔處理,；
　　2）進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服,、帽,、鞋、手套,、口罩等,。
　　3）通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進入無塵室。
　　4）機器及材料帶進無塵室前,，應盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭,，經風淋室吹淋后才進入無塵室。
　　5）無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間,。
　　二,、不發(fā)生
　　在控制最大污染源--人在無塵室內的微粒子發(fā)塵量的同時，也應控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量,。因物品在移動時,，所產生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生,。故為了控制發(fā)塵量達到最小限度應采取以下對策：
　　1）減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài),；
　　2）采用磨耗發(fā)塵小的材質；
　　3）采用發(fā)塵小的潤滑油,；
　　4）機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。
　　三,、不儲備
　　若能徹底實施“不攜入”技術,，無塵室內的潔凈度就可以維持。但現實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動,，在廣大的無塵室內要有完全潔凈度是不可能的,。因此“不儲備”技術快速地在過濾器中應用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面,。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起,，增加了重大微粒子污染的危險性。
　　在最高等級的無塵室中從天花板到地面,，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動,。這是在約10秒內將室內空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數值。同時,，空氣的流向也必須要有精確的控制才行,。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話,，容易產生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域,，使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內，而一部分會附著在周邊機器設備的表面而引起污染,。
　　控制氣流可防止微粒子累積,，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。

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