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高效過濾器
凈化設備
電子行業(yè)生產(chǎn)過程中空氣過濾器的應用
   電腦中每天鉆進無數(shù)灰塵,只可惜電腦沒有裝中效過濾器,,如果以后電腦中也裝上過濾除塵器就好了,。粘在集成電路上的粉塵可能造成斷路、短路,,粉塵直接影響壽力空壓機配件產(chǎn)品的成品率,。當今,半導體工業(yè)(芯片廠)對生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈程度高挑剔,,對空氣過濾器的要求也最苛刻,。衡量芯片集成度的指標之一是“線寬”,即電路上導線的寬度,。在以微米計算線寬的年代,,人們說制造環(huán)境對粉塵粒徑的限制是小于線寬的 1/10,,隨著線寬不斷變小,1/10之說又變成了1/4,、1/2,。2002年,普通微機中P4處理器的線寬縮小到了0.13mm,,此時任何粉塵都可能損害電路,,粒徑與線寬的傳統(tǒng)比較已經(jīng)過時了。
  芯片廠傳統(tǒng)的通風形式是“大循環(huán)”,,車間的整個天花板上布滿高效過濾器,,整個地面為回風柵板。現(xiàn)在芯片廠有些車間使用自帶風機的過濾裝置,, 即FFU風機過濾器機組,。大循環(huán)和FFU風機過濾器機組兩種形式都能達到足夠的潔凈度,只是在運行管理和能耗上有所差異,?!?/span>
    不論是普通高效過濾器還是FFU風機過濾器機組,,出廠前都要經(jīng)過逐臺掃描,、測試。國內(nèi)目前沒有掃描測試方法標準,,能擠進芯片廠的過濾器廠家是按歐美標準對過濾器進行掃描測試的,。芯片廠的人認為,過濾器傳統(tǒng)檢驗方法用的試驗粉塵本身就是污染源,,所以芯片廠不買鈉焰法和DOP法的帳,。  
    空氣中的海鹽粒子是所有電子工業(yè)的大敵,,但空氣中海鹽粉塵的顆粒比較大,, 普通過濾器就能將其過濾掉。有人說搞電子工業(yè)的理想地點應該遠離海岸,,可沿海地區(qū)經(jīng)濟發(fā)達,,芯片廠一窩蜂似的就建在了沿海地區(qū),在過濾器上多花點錢就是了,。
  20世紀90年代初,,國外曾對高效過濾器玻纖濾紙的含硼問題爭吵了一陣,隨后,,過濾器的微量揮發(fā)元素成了芯片廠關注的事情,。近幾年,國外出現(xiàn)了聚四氟乙烯纖維高效過濾材料,,這種材料沒有揮發(fā)物,,但它是帶靜電的“駐極體”,,少了個隱患,多了個麻煩,,過濾后的空氣要進行電中和以消除空氣中的離子,。目前這種材料的價格偏高,大部分過濾器仍使用玻璃纖維濾紙,。過濾器上可能的微量揮發(fā)元素主要來源于粘結劑和清洗劑,,為芯片廠供貨的過濾器廠商要在這上面下些功夫
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