無(wú)塵室工程的潔凈度往往受到氣流的影響,換言之,,即人,、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng),、擴(kuò)散受到氣流的支配,。
無(wú)塵室工程利用HEPA、ULPA過(guò)濾空氣,,其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多,,因此經(jīng)過(guò)此過(guò)濾器過(guò)濾的空氣可說(shuō)十分干凈。然而無(wú)塵室工程內(nèi)除了人以外,,尚有機(jī)器等之發(fā)塵源,,這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散,即無(wú)法保持潔凈空間,,因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外,。
無(wú)塵室工程內(nèi)的氣流是左右無(wú)塵室工程性能的重要因素,一般無(wú)塵室工程的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,,此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域,,易受人、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂,、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度,、但因風(fēng)速的提高,將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加,,所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時(shí),,能以最適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng),以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果,。
另一方面欲達(dá)到無(wú)塵室工程潔凈度之穩(wěn)定效果,,均一氣流之保持亦為一重要因素,均一氣流若無(wú)法保持,,表示風(fēng)速有異,,特別是在壁面,氣流會(huì)延著壁面發(fā)生渦流作用,,此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難,。
垂直層流式方向要保持均一氣流必須:
(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異;
(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異,。速度過(guò)低或過(guò)高(0.2m/s,,0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生,而0.5m/s之速度,,氣流則較均一,,目前一般無(wú)塵室工程,,其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。
影響無(wú)塵室工程的氣流因素很多,,如制程設(shè)備,、人員、無(wú)塵室工程組裝材,、照明器具等,,同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn),亦應(yīng)列入考慮因素,。
一般操作臺(tái)或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn),,應(yīng)設(shè)于無(wú)塵室工程空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業(yè)人員工作時(shí),,氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),,而將微塵帶走;若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方,,將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?,此時(shí)大部分的氣流將流至制程區(qū)之后,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面,,工作臺(tái)因而將受到污染,良率也勢(shì)必降低,。
無(wú)塵室工程內(nèi)的工作桌等障礙物,,在相接處均會(huì)有渦流現(xiàn)象發(fā)生,相對(duì)地在其附近之潔凈度將會(huì)較差,,在工作桌面鉆上回風(fēng)孔,,將使渦流現(xiàn)象減少最低;組裝材料之選擇是否恰當(dāng),、設(shè)備布局是否完善,,亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。