地址：廣州番禺區(qū)進盈工業(yè)園
電話：4008-727374 020-84550045（50線）
傳真：020-84550845
聯(lián)系人：劉經(jīng)理
手機：18127859156
郵箱：[email protected]
網(wǎng)址：qxuj.cn
空氣經(jīng)過過濾的生產(chǎn)環(huán)境首先被航空航天工業(yè)使用,。即使一個極其微小的缺陷都可造成衛(wèi)星工作失誤,，因此，NASA（美國航空航天中心）和其服務(wù)商們建造了帶有過濾天花板夾層和過濾墻體的車間,。而且首創(chuàng)了許多基本的污染控制理念,，其中包括從工作人員潔凈服到潔凈室使用物的管理方法,。
半導(dǎo)體工業(yè)采用了許多這方面的技術(shù)。然而一個主要的問題是當(dāng)從小加工車間擴建為有更多工人工作的大型車間后,，很難保持其固有的潔凈度,。早期半導(dǎo)體工業(yè)把帶過濾天花板夾層和墻體的方法演化為超凈工作臺法。這個主要是把過濾器裝在單個工作臺上,，并使用無脫落的物質(zhì),。在工作臺以外，晶圓被裝在密封的盒子中儲存,、運輸,。
在大型車間中按順序排列的工作臺（叫做工作層流罩）組成加工區(qū)，使晶圓依工藝次序經(jīng)過而不從露于空氣中,。潔凈工作罩中的過濾器是一種高效顆粒搜集過濾器（HEPA高效過濾器）,。這些過濾器是由含許多小孔，并按手風(fēng)琴琴葉折疊的脆性纖維組成,，由于高密度的小孔與大面積的過濾層,，使得大量的空氣低速流過。由于低速空氣可避免產(chǎn)生空氣流,，有利于工作臺的潔凈度,，并且對于操作員而言，在舒適的環(huán)境中工作也是必要的,。典型的空氣流量6為每分鐘90到100英寸,。HEPA過濾器可達到99.99%或更高的過濾效率，并可用于三種凈化方法中,。
一般來說,，HEPA高效過濾器裝于超凈工作臺頂部?？諝庥娠L(fēng)扇吸入先通過前置過濾器,，再通過HEPA過濾器，并以均勻平行的方式流出,，在工作臺表面改變方向,，流出工作臺。安裝檔板可控制晶圓表面空氣流動方向,，通常這種方式稱為空氣層流立式式（VLF）工作臺,，它是由空氣流的方向命名的。有些工作臺把HEPA過濾器裝于工作臺后部,，這種方式被稱為空氣層流平行（HLF）式工作臺,。
這兩種工作臺按兩種方法來保持晶圓清潔：首先是工作臺內(nèi)的空氣凈化,；其次,，凈化過程在工作臺內(nèi)產(chǎn)生一點空氣正壓,，正壓可防止由操作員與走廊產(chǎn)生的污染物進入工作臺。
使用化學(xué)溶液的工藝需要對VLF式工作臺進行特殊設(shè)計,，這種工作臺必須接有空氣排風(fēng),，以吸收化學(xué)溶液蒸汽，因為蒸汽會產(chǎn)生安全及污染的危險,。在這種設(shè)計下,，必須平衡VLF與排風(fēng)中的空氣流，來維持工作臺的潔凈級別數(shù),。而且還要求晶片需存放在工作臺中相對較潔凈的前部,。
超凈工作臺的方法還可應(yīng)用于現(xiàn)代晶圓加工設(shè)備中。在每臺設(shè)備上安裝VLF或HLF式工作臺來保持晶圓在裝卸過程中潔凈,。
聯(lián)系人：劉經(jīng)理（18127859156） 郵箱：[email protected]
版權(quán)所有：廣州靈潔環(huán)境科技有限公司 粵ICP備19116396號