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DOP用于HEPA過濾器效率測量，已有近40年歷史，近幾年來懷疑其所含環(huán)苯是致癌物質(zhì),，現(xiàn)改用DOS DEHS(常用于單分散的),。這些物質(zhì)對IC及盤片驅(qū)動器生產(chǎn)早已認為對產(chǎn)品有害，因此現(xiàn)常用聚苯乙烯乳膠球(SPLs),，粒徑在0.1~1μm的單分散系，可方便進行控制,。但有研究認為用DOP測試過過濾器釋放出的DOP量與大氣中含有的DOP量相差不明顯。

　　DOP等用壓縮空氣把溶液中的液體通過Laskin噴管霧化成多分散系DOP等，粒徑在0.1~lμm,，t>0.35μm的占90%以上。單分散系DOP,，現(xiàn)常用DEHS，加熱至一定溫度其溶液蒸發(fā)然后冷卻之,，控制冷卻溫度以控制粒徑。采用多分散的DOP測得的過濾器效率要比用單分散的為高,，其間現(xiàn)尚無轉(zhuǎn)換關(guān)系可循,。

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