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　六十年代中,，美國(guó)的電子,、精密機(jī)械等工廠的潔凈室如雨后春筍,，對(duì)當(dāng)時(shí)科學(xué)技術(shù)和工業(yè)發(fā)展起了很大的促進(jìn)作用,，同時(shí)開始了將工業(yè)潔凈室技術(shù)（ICR—IndustrialCleanroom）移植
　　到生物潔凈室（BCR—BiologicalCleanroom）的歷程。七十年代初潔凈室的建設(shè)熱潮轉(zhuǎn)向醫(yī)療,、制藥,、食品及生化等行業(yè)。
　　1966年在美國(guó)新墨西哥州建成了世界上第一個(gè)垂直單向流的生物潔凈技術(shù)室（BCOR—BiologicalCleanOperatingRoom）,。同年,，當(dāng)時(shí)的美國(guó)污染控制協(xié)會(huì)AACC（AmericanAssociationofContaminationControl，后并入IEST—InstituteofEnvironmentalScienceandTechnology）,，發(fā)表了“層流手術(shù)室的設(shè)計(jì)與建造”,、“層流潔凈空氣在外科領(lǐng)域的應(yīng)用”等指導(dǎo)性文件。
　　同年還在美國(guó)明尼蘇達(dá)大學(xué)建成了世界上第一個(gè)水平層流的無(wú)菌室,。1967年在美國(guó)德州的M.D.安德遜病院建成了世界上最早的生物潔凈白血病室,。
　　在英國(guó)，著名的整形外科專家恰利（D.J.Charnley）,，也于1966年建起了稱之為潔凈房（cleanhouse）型式的生物潔凈手術(shù)室,。1969年在奧地利的里茨建成了歐洲第一個(gè)層流病房,，
　　隨后在瑞士、德國(guó)先后建成用于醫(yī)療的生物潔凈室,。
　　在日本發(fā)展得更快,，1965年日本國(guó)立公眾衛(wèi)生院建成了采用高效過(guò)濾器的生物潔凈室（BCR）用于無(wú)菌動(dòng)物（SPF）的飼育室。1970年在愛知縣職工病院建成了裝配式垂直層流白血病房,。
　　1972年建成了國(guó)立大阪醫(yī)院垂直層流流型無(wú)菌手術(shù)室,。至1977年底，病院的生物潔凈室已達(dá)131個(gè),。
　　為確保藥品的安全性,、有效性，1964年美國(guó)食品藥品管理局（FDA）開始在美國(guó)實(shí)施“醫(yī)藥品的制造和質(zhì)量管理規(guī)范”,，簡(jiǎn)稱GMP（GoodManufacturingPractice）,。1969年世界衛(wèi)生組織（WH0）頒布了GMP，規(guī)定了為保證藥品無(wú)菌生產(chǎn),，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境和用水質(zhì)量的要求,。生物潔凈室技術(shù)在美、日,、西歐等工業(yè)國(guó)家的制藥工業(yè)得到了廣泛應(yīng)用。
　　美國(guó)FDA于1969年頒布了“食品制造標(biāo)準(zhǔn)”,，即食品的GMP,，要求在制造和包裝過(guò)程中嚴(yán)格控制微生物和溫濕度，以防止食品變質(zhì),。食品無(wú)菌裝罐的潔凈室,，當(dāng)時(shí)在歐美迅速得到推廣。
　　以美國(guó)為例,，1971年無(wú)菌裝罐食品總量為25.4億噸,，1980年增長(zhǎng)為132.7億噸，其中肉制品增長(zhǎng)幅度近19倍,。在食品釀造,、發(fā)酵工業(yè)對(duì)純種的培養(yǎng)、接種,、擴(kuò)種等工藝也都采用了潔凈室技術(shù),。
　　以占有七成左右潔凈室市場(chǎng)的電子與半導(dǎo)體工業(yè)而言，七十年代被稱為大規(guī)模集成電路（LSI）時(shí)代,，而八十年代則被稱為超大規(guī)模集成電路（VLSI）時(shí)代,。集成電路的集成度從1970年以來(lái)，差不多以每隔2~3年增長(zhǎng)4倍速率飛速發(fā)展,。
　　七十年代末,，64K位RAM作為進(jìn)入超大規(guī)模集成電路階段的標(biāo)志性產(chǎn)品研制過(guò)程中,，注意到其典型線寬為3μm，需控制的最小粒徑為0.3~0.8μm,。也就是說(shuō),，以0.3μm效率為標(biāo)準(zhǔn)的HEPA過(guò)濾器不能適應(yīng)電子技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展。美國(guó),、日本相繼研制與制造了對(duì)0.1μm塵粒計(jì)數(shù)過(guò)濾效率達(dá)99.99~99.995%的超高效空氣過(guò)濾器——ULPA（Ultralowpenetrationair）過(guò)濾器（亦可譯為“極低穿透率空氣過(guò)濾器”）,。
　　Ⅱ-2,、成熟與發(fā)展階段
　　七十年代末至八十年代末,，這十年間，中國(guó)的潔凈技術(shù)經(jīng)歷了一段陽(yáng)光燦爛的發(fā)展階段,。在中國(guó)潔凈技術(shù)發(fā)展歷程中,，許多標(biāo)志性的重要成果，幾乎都誕生在這個(gè)階段,。
　　1,、標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范制定與國(guó)際交往方面：
　　1979年1月出版了以建研院空調(diào)所為首的設(shè)計(jì),、研究和大專院校等單位對(duì)建成的工業(yè)潔凈室的測(cè)試和總結(jié)經(jīng)驗(yàn)的基礎(chǔ)上編制的“空氣潔凈技術(shù)措施”,，起到了規(guī)范與推動(dòng)當(dāng)時(shí)中國(guó)潔凈室技術(shù)的重要作用，為日后國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的制定奠定了基礎(chǔ),。
　　1984年12月頒發(fā)了以電子部第十設(shè)計(jì)院會(huì)同有關(guān)單位共同編制的GBJ73-84國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”,，其中，關(guān)于潔凈度分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)等同采用了當(dāng)時(shí)國(guó)際上大多數(shù)國(guó)家認(rèn)同的美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209B,，摒棄了此前在中國(guó)國(guó)內(nèi)曾在不同范圍內(nèi)使用過(guò)的多個(gè)借鑒國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)而自定的潔凈室分級(jí)標(biāo)準(zhǔn),，為中國(guó)潔凈室技術(shù)與國(guó)際接軌向前邁進(jìn)了一步。
　　隨后,，結(jié)合中國(guó)國(guó)情,，參考國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)先后制定了GB6166-85高效濾料性能實(shí)驗(yàn)方法、穿透率和阻力,，GB6167-85塵埃粒子計(jì)數(shù)器性能試驗(yàn)方法,，GB6168-85層流潔凈工作臺(tái)檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)等多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)統(tǒng)一與規(guī)范試驗(yàn),、測(cè)定方法,，增強(qiáng)科學(xué)性起了很大作用。
　　值得一提的是1988年11月定稿的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB12218-89“一般通風(fēng)用空氣過(guò)濾器性能試驗(yàn)方法”中規(guī)定采用大氣塵的限徑計(jì)數(shù)效率法來(lái)測(cè)定粗,、中,、高中效空氣過(guò)濾器的效率，這是以天津大學(xué)為代表的國(guó)內(nèi)各研究單位多年實(shí)踐的經(jīng)驗(yàn)總結(jié),，在世界上率先采用此方法,。1993年歐洲通風(fēng)協(xié)會(huì)（ASHRAE）先后放棄了原有的大氣塵比色效率法（NBS,、AFI、ASHRAE）的計(jì)重效率法,，同時(shí)頒布采用大氣塵或標(biāo)準(zhǔn)塵的計(jì)徑計(jì)數(shù)法,。
　　特別是1982年6月成立了中國(guó)電子學(xué)會(huì)潔凈技術(shù)分會(huì)（對(duì)外的名稱是“中國(guó)污染控制協(xié)會(huì)”CCCS—ChineseContaminationControlSociety），并創(chuàng)辦了“潔凈技術(shù)”雜志（現(xiàn)名為“潔凈與空調(diào)技術(shù)”—ContaminationControl&Air-conditioningTechnology）,，于1983年正式發(fā)刊,，在整合國(guó)內(nèi)潔凈室技術(shù)的各方面力量，推動(dòng)潔凈室技術(shù)進(jìn)步以及在國(guó)際交流方面起了很大促進(jìn)作用,。1986年中國(guó)潔凈技術(shù)學(xué)會(huì)成國(guó)國(guó)際污染控制學(xué)會(huì)聯(lián)盟ICCCS（InternationalConfederationofContaminationControlSociety）的成員,。當(dāng)時(shí)的成員國(guó)僅有美（IEST）、英（SEE）,、法（ASPES）,、德（DIN/VDI）、日（JACA）,、意（ASCCA）,、瑞士（SRRT）及北歐四國(guó)（R3-Nodic）等。（現(xiàn)增加至18個(gè)成員國(guó),，有澳—ACCS,、俄—ASEMCO、比—BCW,、韓—KACA,、羅馬尼亞—RACC、巴西—SBCC,、荷—VCCN,、蘇格蘭—SZCZ）,。
　　1998年第九屆ICCCS洛杉磯會(huì)議,、1990年第十屆ICCCS蘇黎士會(huì)議，筆者代表中國(guó)應(yīng)約出任了大會(huì)執(zhí)行主席,。
　　2,、生物潔凈室技術(shù)方面：
　　生物潔凈室技術(shù)在中國(guó)的起步，較國(guó)外晚了十多年,。七十年代末,，一些制藥廠對(duì)原有空調(diào)系統(tǒng)進(jìn)行了改造，開始采用高效空氣過(guò)濾器作為空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)的末端,，以代替原有的過(guò)濾器或甘油紗布罩等,。上海醫(yī)藥工業(yè)設(shè)計(jì)院、哈爾濱建工學(xué)院及有關(guān)制藥廠等單位在此時(shí)期先后在上海第四,、第七制藥廠,、鎮(zhèn)江制藥廠采用了生物潔凈室技術(shù),。
　　1982年中國(guó)制藥工業(yè)公司依據(jù)國(guó)情與國(guó)外經(jīng)驗(yàn)制定了“藥品生產(chǎn)管理規(guī)范”（試行稿），其中空氣潔凈度級(jí)別參考美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209A,，將生產(chǎn)環(huán)境分為大于100,，000級(jí)及100，000級(jí)的控制區(qū)和10,，000級(jí)及局部100級(jí)的潔凈區(qū),。至1985年底又匯編了“藥品生產(chǎn)管理規(guī)范實(shí)施指南”，連同經(jīng)過(guò)部分修改后的“規(guī)范”一并正式頒布,，為推動(dòng)制藥工業(yè)的現(xiàn)代化奠定了基礎(chǔ),。1988年衛(wèi)生部頒發(fā)了“藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范”，其精神與前述規(guī)范一致,，為在制藥行業(yè)推行GMP認(rèn)證準(zhǔn)備了條件,。
　　在此階段生物潔凈室在醫(yī)療方面陸續(xù)得到推廣應(yīng)用。1980年由哈爾濱建工學(xué)院與雞西無(wú)專共同研制的簡(jiǎn)易型水平層流空調(diào)凈化機(jī)組用于黑龍江醫(yī)院,；由六機(jī)部九院與上海金山電子設(shè)備廠合作完成的裝配式無(wú)菌病室用于上海新華醫(yī)院細(xì)胞研究室,、蘇州醫(yī)學(xué)院。
　　八十年代中,，總后營(yíng)房部設(shè)計(jì)院,、天津大學(xué)等設(shè)計(jì)建成了有各種氣流型式、相當(dāng)于美國(guó)宇航局標(biāo)準(zhǔn)NASA-5340Ⅱ的百級(jí)至萬(wàn)級(jí)的十多間土建式無(wú)菌手術(shù)室的301醫(yī)院康復(fù)中心手術(shù)樓,。天津大學(xué),、天津凈化設(shè)備廠設(shè)計(jì)建成了中國(guó)醫(yī)學(xué)科學(xué)研究院血研所多間百級(jí)組裝式無(wú)菌病室。
　　八十年代初,、軍事醫(yī)學(xué)科學(xué)院,、建研院空調(diào)所、蚌埠凈化設(shè)備廠等單位研制完成了Ⅱ-A級(jí)（相當(dāng)于P3級(jí)）生物安全柜（Biohazardworkstation）的研制,；哈爾濱建工學(xué)院等單位
　　完成了松江罐頭廠的甜炬乳,、西紅柿醬和培根的無(wú)菌裝罐室，開創(chuàng)了生物安全和食品加工生物技術(shù)在中國(guó)的應(yīng)用,。
　　在1985年前后,，軍事醫(yī)學(xué)研究院研制的JWL針孔式浮游細(xì)菌采樣器和上海整新電子設(shè)備廠、同濟(jì)大學(xué)合作研制的SS縫隙式空氣浮游細(xì)菌采樣器通過(guò)鑒定,，為生物潔凈室技術(shù)的某些
　　研究工作提供了手段,。
　　3、基礎(chǔ)與技術(shù)研究方面：
　　在七十年代末至八十年代末這10年中,，在潔凈室的基礎(chǔ)和技術(shù)研究方面也取得了眾多成績(jī),，如：
　　提出了中國(guó)大氣塵的統(tǒng)計(jì)規(guī)律、濕度對(duì)大氣塵濃度的作用、“W”型大氣塵濃度日分布模型,，為確定室外設(shè)計(jì)濃度提供了依據(jù),；
　　提出了帶空氣幕層流罩的隔離效果、設(shè)計(jì)原理與計(jì)算方法,；
　　提出了亂流潔凈室的均勻分布理論計(jì)算公式,、經(jīng)驗(yàn)計(jì)算公式，以及自凈時(shí)間,、污染時(shí)間的計(jì)算式,；
　　提出了單向流潔凈室下側(cè)回風(fēng)方式的最大室寬、計(jì)算模型以及下限風(fēng)速的概念及數(shù)據(jù),；
　　提出了高效空氣過(guò)濾器封導(dǎo)結(jié)合的雙環(huán)密封原理和方案,，倒置式液槽密封方案；
　　進(jìn)行了人體發(fā)菌量的測(cè)試與分析,；
　　建立了濾材,、濾器的細(xì)菌過(guò)濾效率測(cè)試臺(tái)，得到了對(duì)大氣塵菌源的濾菌效率與計(jì)數(shù),、計(jì)重效率的相關(guān)關(guān)系,。
　　中國(guó)建筑科學(xué)研究院、四機(jī)部十院,、十一院等科研院所,、設(shè)計(jì)院、天津大學(xué),、清華大學(xué),、同濟(jì)大學(xué)、哈爾濱建筑工程學(xué)院,、河北工學(xué)院等院校對(duì)此做了較多的工作,。
　　4、在產(chǎn)品研制與開發(fā)方面：
　　1979年至1981年,，天津大學(xué),、天津美綸纖維廠等單位通過(guò)對(duì)多種材質(zhì)（滌綸、丙綸,、維綸,、棉,、毛,、超細(xì)玻纖……）、多種工藝針刺,、噴膠,、熱熔、熔噴,、熱壓,、羅拉）的幾百個(gè)品種,、規(guī)格濾料系列研究，篩選并設(shè)計(jì)定型了TL—Z,、TL—C系列具有線徑梯度,、密度梯度和材質(zhì)、工藝復(fù)合型的無(wú)織布濾材,，部分替代了當(dāng)時(shí)美,、法、日等國(guó)引進(jìn)的從粗效至亞高效過(guò)濾材料,，為國(guó)家節(jié)約了大批外匯,。
　　1981年，由四機(jī)部十一院,、河北工學(xué)院,、天津第二無(wú)線電專用設(shè)備廠研制成功WGP—01型無(wú)隔板高效空氣過(guò)濾器（minipleatHEPAfilter)，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)產(chǎn)品空白,。
　　1985年,，四機(jī)部十一院、四川造紙工業(yè)研究所,、重慶無(wú)線電專用設(shè)備廠共同完成了CGB型高效空氣過(guò)濾器的研制,，該過(guò)濾器對(duì)0.1μm塵粒的計(jì)數(shù)效率為99.99~99.995%，阻力為245~270Pa,，經(jīng)鑒定認(rèn)為其主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到當(dāng)時(shí)日本生產(chǎn)的ULPA高效空氣過(guò)濾器同類產(chǎn)品的技術(shù)水平,。1987年1月，天津醫(yī)藥凈化設(shè)備廠和建研院空調(diào)所研制的,、采用國(guó)外ULPA過(guò)濾器（日本忍足株式會(huì)社產(chǎn)品）的0.1μm10級(jí)潔凈室通過(guò)鑒定,。1988年5月機(jī)電部第十一設(shè)計(jì)院和重慶無(wú)線電專用設(shè)備廠采用國(guó)產(chǎn)0.1μm高效空氣過(guò)濾器的0.1μm10級(jí)潔凈室通過(guò)鑒定，其主要
　　指標(biāo)達(dá)到八十年代國(guó)外的技術(shù)水平,。
　　同期,，國(guó)外潔凈室技術(shù)持續(xù)、穩(wěn)定發(fā)展與進(jìn)步,。
　　1982年每芯片上約有5~6萬(wàn)個(gè)器件的16K位隨機(jī)存儲(chǔ)器（RAM）已成暢銷品,。1984年256K位RAM已進(jìn)入實(shí)用階段。同年初日本宣布每芯片設(shè)置有約200萬(wàn)個(gè)器件的一兆位DRAM（DynamicRandomAccessMemory—?jiǎng)討B(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器）試制成功,。1985年美國(guó)研制完成4兆位的集成電路,。至八十年代末4M位的DRAM已商品化。
　　各種降低能耗,，配合工藝過(guò)程自動(dòng)化與高潔凈度要求的潔凈室氣流組織方案及技術(shù)在此階段也陸續(xù)誕生,，如隧道式潔凈室（tunneltypecleanroom）、潔凈管道（ducttypecleanroom）以及SMIF（standardmechanicalinterface—標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口）技術(shù)等。
　　從八十年代中期以來(lái),，以于微電子行業(yè)來(lái)說(shuō),，1976年4月24日所頒發(fā)的美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209B所規(guī)定的最高潔凈級(jí)別—100級(jí)（≥0.5μm，≯100pc./cu.ft）已不能滿足需要,，1M位的DRAM的線寬僅為1μm,，要求環(huán)境級(jí)別為10級(jí)（0.5μm）。事實(shí)上,，從七十年代末,，配合微電子技術(shù)的發(fā)展，更高級(jí)別的潔凈室.已在美,、日陸續(xù)建成,，相應(yīng)的檢測(cè)儀器—激光粒子計(jì)數(shù)器、凝聚核粒子計(jì)數(shù)器（CNC）—也應(yīng)運(yùn)而生,?？偨Y(jié)這個(gè)時(shí)期的經(jīng)驗(yàn)和適應(yīng)技術(shù)進(jìn)步的需要，于是1987年10月27日頒發(fā)美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209C,，將潔凈等級(jí)從原有的100至100,，000四個(gè)等級(jí)擴(kuò)展為1至100，000六個(gè)級(jí)別,，并將鑒別級(jí)別界限的粒徑從0.5μm~5μm擴(kuò)展至0.1μm~5μm.
　?、?3、與國(guó)際全國(guó)接軌,，走向規(guī)范化
　　九十年代初至今,，在電子技術(shù)持續(xù)飛速發(fā)展的推動(dòng)下，潔凈技術(shù)不斷前進(jìn),，下表給出了國(guó)際上大規(guī)模集成電路的工藝及國(guó)內(nèi)的代表產(chǎn)品的發(fā)展進(jìn)程,。
　　1992年9月11日頒布的美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FED—STD—209E更進(jìn)一步取代1988年6月15日頒布的FED—STD—209D，將潔凈等級(jí)從英制改為米制,，潔凈度等級(jí)分為M1至M7七個(gè)級(jí)別,。與209D相比，最高級(jí)別又向上延伸了半個(gè)級(jí)別（209D的1級(jí)空氣中≥0.5μm塵?！?5.3pc./m3,，而209E的M1級(jí)≥0.5μm塵粒≯10pc./m3）,。
　　三十多年來(lái),，美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209，一直是世界各國(guó)潔凈技術(shù)行業(yè)公認(rèn)的標(biāo)準(zhǔn),。美國(guó)總服務(wù)局（GSA—U.S.GeneralServicesAdministration）,，也就是批準(zhǔn)美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)供聯(lián)邦政府各機(jī)構(gòu)使用的權(quán)威單位，于2001年11月29日發(fā)布公告,，廢止FED—STD—209E,，等同采用ISO—14644相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。這個(gè)決定標(biāo)志著潔凈技術(shù)
　　隨同世界經(jīng)濟(jì)一體化進(jìn)一步走向國(guó)際大同,。
　　九十年代初至今,，中國(guó)經(jīng)濟(jì)始終保持穩(wěn)定的高速增長(zhǎng)，國(guó)際投資持續(xù)注入,，一批跨國(guó)集團(tuán)在中國(guó)陸續(xù)興建了眾多的微電子工廠,。因此國(guó)內(nèi)技術(shù)與研究人員有更多機(jī)會(huì)直接接觸國(guó)外高級(jí)別潔凈室的設(shè)計(jì)理今，了解世界的先進(jìn)設(shè)備和裝置,、管理與維護(hù)等等,。從這方面來(lái)看，的確從各個(gè)角度與國(guó)際日益接軌,。
　　中國(guó)也投入了大批財(cái)力發(fā)展微電子技術(shù),。在這階段中先后建成了首鋼日電公司、華晶電子集團(tuán)公司,、上海華虹NEC電子公司,、紹興華越微電子公司、以及天津MOTOROLA公司,、上海貝嶺微電子公司等,，但總起來(lái)說(shuō)微電子技術(shù)與世界先進(jìn)生產(chǎn)水平特別是研發(fā)水平上仍有相當(dāng)大的差距。
　　九十年代初以來(lái),，潔凈技術(shù)在制藥工廠貫徹實(shí)施GMP法過(guò)程中得到了普及,，全國(guó)幾千家制藥廠以及生產(chǎn)藥用原材料、包裝材料等非藥企業(yè),，陸續(xù)進(jìn)行了技術(shù)改造,。其規(guī)模之大、范圍之寬都是空前的,。1992年中國(guó)制藥工業(yè)公司,、中國(guó)化學(xué)制藥工業(yè)協(xié)會(huì)對(duì)1985年頒發(fā)的“藥品生產(chǎn)管理規(guī)范（GMP）實(shí)施指南”進(jìn)行了修訂，頒發(fā)了新的實(shí)施指南,。隨后在1998年頒發(fā)了理一步與國(guó)際接軌的,、由國(guó)家藥品監(jiān)督局組織修訂的“藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范”，即中國(guó)1998GMP（1999年8月1日起實(shí)施）,，為加大GMP的推行力度,、在制藥全行業(yè)實(shí)施認(rèn)證體制進(jìn)一步奠定了基礎(chǔ)。九十年代初以來(lái),，醫(yī)院無(wú)菌手術(shù)室的建設(shè)受到各方面的關(guān)注,，陸續(xù)在各大城市建起了上千間十萬(wàn)級(jí)至百級(jí)不同級(jí)別的生物潔凈手術(shù)室,、生物潔凈病室及實(shí)驗(yàn)動(dòng)物房。
　　概括這十年來(lái)國(guó)內(nèi)潔凈技術(shù)行業(yè)的歷程,，依筆者個(gè)人的看法是喜憂參半,。值得欣慰的是，潔凈室技術(shù)行業(yè)在許多方面日益與國(guó)際接軌,，反映在相關(guān)規(guī)范的內(nèi)容,、潔凈室設(shè)計(jì)思路與方案、施工技術(shù)與管理,、檢測(cè)手段與技術(shù)等等方面,。如反映在中國(guó)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)修定中，2001年11月13日發(fā)布的GB50073-2001國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”（CodeforDesignofCleanRoom）,，在空氣潔凈度等級(jí)劃分上,，明確等效采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO14611-1，就是一個(gè)很好的例證,。依靠制藥工業(yè)與普通電子裝配業(yè),，以及醫(yī)療衛(wèi)生、食品,、化妝品業(yè)的帶動(dòng),，潔凈室技術(shù)得到極大的普及。但這些行業(yè)基本上都是ISO5或中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)N5（相當(dāng)于原聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FED—STD—209E的100級(jí)）及以下級(jí)別的潔凈室,，所采用的主要設(shè)備器材如高效及各級(jí)過(guò)濾器,、吹淋室、凈化工作臺(tái),，空調(diào)制冷機(jī)
　　組以及金屬壁板,、地面復(fù)合材料等，基本上都是國(guó)內(nèi)生產(chǎn)制造的,。因此從七十年代屈指可數(shù)的,、主要集中在京津地區(qū)、上海地區(qū)的十幾家,；八十年代末的百余家潔凈室設(shè)備生產(chǎn)廠,、施工安裝單位，發(fā)展到現(xiàn)在幾乎遍布全國(guó)各省市的上千家潔凈室相關(guān)設(shè)備,、器材生產(chǎn)制造廠,、施工安裝單位，和一批積累了相當(dāng)豐富經(jīng)驗(yàn)的設(shè)計(jì)單位,、調(diào)試檢測(cè)單位,。
　　全國(guó)處于運(yùn)行狀態(tài)的各種級(jí)別的潔凈室面積，據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)和測(cè)算,，從八十年代初10多萬(wàn)平方米猛增到200多萬(wàn)平方米,。某些微電子廠生產(chǎn)車間的潔凈級(jí)別達(dá)到了0.1微米1級(jí)的高水平,。在潔凈空氣流流型理論計(jì)算與試驗(yàn)研究方面，哈爾濱建工學(xué)院,、天津大學(xué),、建研院空調(diào)所等單位，采用數(shù)值仿真方法,，利用CFD（computationalfluiddynamics）與試驗(yàn)驗(yàn)證相結(jié)合的方法,，開展了矢流流型,、普通潔凈室高效過(guò)濾器風(fēng)口布置方案與潔凈效果等方面的研究,，并參加了歷屆ICCCS國(guó)際學(xué)術(shù)交流會(huì)，在國(guó)際上發(fā)表了一批研究論文,。
　　天津大學(xué)等單位參加了MOTOROLA,、SAE、KODA,、CTS不同潔凈級(jí)別的,、由國(guó)外設(shè)計(jì)、采用國(guó)外設(shè)備器材,、施工管理技術(shù)建造的潔凈室的系統(tǒng)調(diào)試與檢測(cè),、驗(yàn)收。較深入地理解,、掌握了國(guó)外微電子高級(jí)別潔凈室,、制藥工業(yè)潔凈室的設(shè)計(jì)要點(diǎn)、技術(shù)關(guān)鍵,，以及調(diào)試驗(yàn)收技術(shù)及相應(yīng)規(guī)范,，與美國(guó)FDA、NEBB,、IEST,，日本的JACA等建立了廣泛的聯(lián)系。
　　特別值得提出的是,，在新一屆中國(guó)電子學(xué)會(huì)潔凈技術(shù)分會(huì)領(lǐng)導(dǎo)的積極努力下,，中國(guó)申辦第18屆國(guó)際污染控制學(xué)術(shù)會(huì)議（2006年）獲得成功，這是自1972年ICCCS創(chuàng)建以來(lái)首次在華舉辦這樣的盛會(huì),，將對(duì)中國(guó)的潔凈技術(shù)進(jìn)步起到重要推動(dòng)作用,。
　　III潔凈技術(shù)發(fā)展的一些主要事件
　　1940年，美國(guó)創(chuàng)建了第一座潔凈室,，是潔凈室的起源,。
　　1950年，高效粒子空氣過(guò)濾器（HEPA）問(wèn)世,，成為潔凈技術(shù)發(fā)展史上的第一座里程碑,。
　　50年代,，美國(guó)基于精密機(jī)械、電子工業(yè)的需要而發(fā)展了污染控制技術(shù),。在朝鮮戰(zhàn)爭(zhēng)中,，雷達(dá)設(shè)備的失效率達(dá)70%-80%，應(yīng)用空氣潔凈技術(shù)后,，下降到5%-8%,。
　　1957年前蘇聯(lián)第一顆人造衛(wèi)星發(fā)射成功，刺激了美國(guó)加速發(fā)展宇航工業(yè),，也相應(yīng)加速制訂有關(guān)控制標(biāo)準(zhǔn)的工作,。
　　1961年，層流（單向流）潔凈室誕生,。世界上最早的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)—美國(guó)空軍技術(shù)條令203形成,。
　　1963年美國(guó)頒布了潔凈室第一個(gè)軍用部分的聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209。
　　1966年美國(guó)頒布了修訂后的聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209A,。
　　1967年美國(guó)又頒布了美國(guó)航空宇宙局標(biāo)準(zhǔn),，通常稱為生物潔凈室標(biāo)準(zhǔn)。
　　1965年前,，多用于航空工業(yè),，1968年起開始應(yīng)用于部分醫(yī)院。
　　1973年美國(guó)頒布了修訂后的聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209B,。
　　20世紀(jì)80年代以后,，美國(guó)和日本分別研制成功過(guò)濾對(duì)象為0.1μm，捕集效率達(dá)99.99%的新型超高效過(guò)濾器,。最終建成0.1μm10級(jí)和0.1μm1級(jí)的超高級(jí)別潔凈室,，它使?jié)崈艏夹g(shù)的發(fā)展又進(jìn)入一個(gè)新時(shí)期。
　　GMP(GoodManufacturingPracticesforDrugs)最初是由美國(guó)坦普爾大學(xué)6名教授編寫制訂,，1963年美國(guó)國(guó)會(huì)第一次頒布成為法令,。
　　1974年日本政府頒布GMP，進(jìn)行指導(dǎo)推行,。
　　1975年世界衛(wèi)生組織（WHO）正式公布GMP,。1977年再次向成員國(guó)推薦GMP，并確定為WHO法規(guī),。
　　1978年美國(guó)再次頒布經(jīng)修訂的GMP,。
　　1980年日本決定正式實(shí)施GMP。
　　在我國(guó),，空氣潔凈技術(shù)的研究始于20世紀(jì)60年代中期,。GMP在我國(guó)是20世紀(jì)70年代末受到各方面的重視。
　　1984年頒發(fā)了《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》（GBJ73—84）,，2002年進(jìn)行了修訂（GB50073—2001）,。
　　1990年頒發(fā)了《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》（JGJ71—90）,。
　　1997年國(guó)家藥品監(jiān)督管理局頒布了《醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》（GMP—97）。
　　1998年國(guó)家藥品監(jiān)督管理局頒布了《藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》（GMP—98）,。

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